3 晶圆传送盒（FOUP） Stage 设备前端模块（EFEM）加载互锁真空室(LOAD LOCK Chamber, 除气或者冷却)2 转移室（Transfer Chambers）2 Slot Pass-Thru Stage除气室或者冷却室...

* 考虑到CVD/ETCH各Part，具备多样化和  优化的阳极氧化条件的特性。  5个（X2）阳极氧化bath（药物差异）  >拥有10个Recipe  拥有经过验证的量产前/后处理技术...

* 电极/Shower plate/Liner对应可能    构建获得验证的设备   拥有获得验证的Coating条件   不仅拥有ECCP，也拥有可以对应ICP 部件的Coating条件&nb...

*拥有精密清洗技术拥有多样的药物清洗条件拥有高压清洗及自动干燥设备拥有洁净室及洁净室内Clean oven金属及Ceramic清洗都可使用现有PVD零件清洗Infra* 拥有平面研磨及抛光技术拥有2台获得验证的自动研磨机确保研磨专家/熟练者...